소개글
(SOP)_ACQC (Automatic Clean Quick Coupler) 작업표준에 대한 자료입니다.
목차
1. ACQC System 구조
2. ACQC 작업 SOP
본문내용
1) Male 삽입 部
1. N2 用 MQC(20A)
2. Chemical 用 ACQC (50A)
2) 우측면 部
1. Chemical 세정 V/V /
2. N2 건조 V/V /
3. N2 가압
4. N2 Purge / 5. Vent /
6. Empty Sensor /
7. 50A ACQC
3) 배관 部
1. Chemical 세정 V/V /
2. N2 건조 V/V
3. 50A ACQC /
4. Unit 내부 등 /
5. T/L PT
6. Empty Sensor
하고 싶은 말
유기용매의 ACQC를 통해 상차하는 방법에 대한 작업표준입니다.